Study on microanalysis of solids by using focused ion beam

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on microanalysis of solids by using focused ion beam
• 著者・編者: 坂本哲夫 [著]
• 著者標目: 坂本, 哲夫 サカモト, テツオ
• 並列タイトル等: 収束イオンビームを用いた微小領域固体表面分析法の研究 シュウソク イオン ビーム オ モチイタ ビショウ リョウイキ コタイ ヒョウメン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成9年3月28日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 甲第12630号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-Q502
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000325322; http://id.ndl.go.jp/bib/000000325322
• 整理区分コード: 213

目次

CONTENTS

1 General Introduction

1.1 Background and Object of This Study

1.2 Secondary Ion Mass Spectrometry;SIMS

1.3 Gallium Focused Ion Beam SIMS