Study on microanalysis of solids by using focused ion beam

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on microanalysis of solids by using focused ion beam
• Author/Editor: 坂本哲夫 [著]
• Author Heading: 坂本, 哲夫 サカモト, テツオ
• Alternative Title: 収束イオンビームを用いた微小領域固体表面分析法の研究 シュウソク イオン ビーム オ モチイタ ビショウ リョウイキ コタイ ヒョウメン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成9年3月28日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第12630号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-Q502
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000325322; http://id.ndl.go.jp/bib/000000325322
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

1 General Introduction

1.1 Background and Object of This Study

1.2 Secondary Ion Mass Spectrometry;SIMS

1.3 Gallium Focused Ion Beam SIMS