次世代超LSI用多層配線材料に関する研究
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p1
1.SOG関連
p10
2.O₃-TEOS APCVD関連
p10
3.銅配線用バリアメタル
p11
4.その他:絶縁膜の評価技術
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ジセダイ チョウLSIヨウ タソウ ハイセン ザイリョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 中野正 [著]
- 著者標目
- 中野, 正 ナカノ, タダシ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成8年6月13日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第12913号
- 学位
- 博士 (工学)