次世代超LSI用多層配線材料に関する研究
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Table of Contents
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目次
p1
1.SOG関連
p10
2.O₃-TEOS APCVD関連
p10
3.銅配線用バリアメタル
p11
4.その他:絶縁膜の評価技術
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- ジセダイ チョウLSIヨウ タソウ ハイセン ザイリョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 中野正 [著]
- Author Heading
- 中野, 正 ナカノ, タダシ
- Degree Grantor
- 東京大学
- Date Granted
- 平成8年6月13日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第12913号
- Degree Type
- 博士 (工学)