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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
p2
1.1ntroduction
p4
1.1 Why we need angular rate sensor?
p4
1.2 Silicon Resonant Angular Rate Sensor by Micromachining
p7
1.3 Target of this work
p13
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 崔在濬 [著]
- 著者標目
- 崔, 在濬 サイ, ザイシュン
- 並列タイトル等
- マイクロマシニングによるシリコン振動型角速度センサに関する研究 マイクロマシニング ニ ヨル シリコン シンドウガタ カクソクド センサ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成10年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1998
- 報告番号
- 甲第6393号
- 学位
- 博士 (工学)