Silicon micromachined resonant angular rate sensor

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Silicon micromachined resonant angular rate sensor
• 著者・編者: 崔在濬 [著]
• 著者標目: 崔, 在濬 サイ, ザイシュン
• 並列タイトル等: マイクロマシニングによるシリコン振動型角速度センサに関する研究 マイクロマシニング ニ ヨル シリコン シンドウガタ カクソクド センサ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成10年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 甲第6393号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 著者別名: Choi, Jae Joon
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-T233
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000326902; http://id.ndl.go.jp/bib/000000326902
• 整理区分コード: 213

目次

CONTENTS

1.1ntroduction

1.1 Why we need angular rate sensor?

1.2 Silicon Resonant Angular Rate Sensor by Micromachining

1.3 Target of this work