Silicon micromachined resonant angular rate sensor
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Table of Contents
CONTENTS
p2
1.1ntroduction
p4
1.1 Why we need angular rate sensor?
p4
1.2 Silicon Resonant Angular Rate Sensor by Micromachining
p7
1.3 Target of this work
p13
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 崔在濬 [著]
- Author Heading
- 崔, 在濬 サイ, ザイシュン
- Alternative Title
- マイクロマシニングによるシリコン振動型角速度センサに関する研究 マイクロマシニング ニ ヨル シリコン シンドウガタ カクソクド センサ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成10年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 甲第6393号
- Degree Type
- 博士 (工学)