Silicon micromachined resonant angular rate sensor

• Material Type: 博士論文
• Title: Silicon micromachined resonant angular rate sensor
• Author/Editor: 崔在濬 [著]
• Author Heading: 崔, 在濬 サイ, ザイシュン
• Alternative Title: マイクロマシニングによるシリコン振動型角速度センサに関する研究 マイクロマシニング ニ ヨル シリコン シンドウガタ カクソクド センサ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成10年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第6393号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: Choi, Jae Joon
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-T233
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000326902; http://id.ndl.go.jp/bib/000000326902
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

1.1ntroduction

1.1 Why we need angular rate sensor?

1.2 Silicon Resonant Angular Rate Sensor by Micromachining

1.3 Target of this work