イオンスパッタ加工の加工特性に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: イオンスパッタ加工の加工特性に関する研究
• タイトルよみ: イオン スパッタ カコウ ノ カコウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 井上徳之 [著]
• 著者標目: 井上, 徳之 イノウエ, ノリユキ
• 授与機関名: 総合研究大学院大学
• 授与年月日: 平成9年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第37号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-V148
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000327904; http://id.ndl.go.jp/bib/000000327904
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1･1 緒言

1･2 研究の歴史

1･3 本研究の目的と成果