CVD装置クリーニングへの応用を目的としたフッ化物ガスの反応特性に関する研究
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第1章 緒論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 既往のプラズマクリーニング技術の問題点と新規クリーニング技術に求められる条件
p8
1.3 本研究に関する既往の研究
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- CVD ソウチ クリーニング エ ノ オウヨウ オ モクテキ ト シタ フッカブツ ガス ノ ハンノウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 毛利勇 [著]
- 著者標目
- 毛利, 勇 モウリ, イサム
- 授与機関名
- 鳥取大学
- 授与年月日
- 平成10年3月20日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 甲第150号
- 学位
- 博士 (農学)