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博士論文

CVD装置クリーニングへの応用を目的としたフッ化物ガスの反応特性に関する研究

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CVD装置クリーニングへの応用を目的としたフッ化物ガスの反応特性に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-98-W160
Bibliographic ID of National Diet Library
000000328464
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3143274
Material type
博士論文
Author
毛利勇 [著]
Publisher
-
Date granted
平成10年3月20日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
鳥取大学,博士 (農学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

  • 第1章 緒論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 既往のプラズマクリーニング技術の問題点と新規クリーニング技術に求められる条件

    p8

  • 1.3 本研究に関する既往の研究

    p11

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
CVD装置クリーニングへの応用を目的としたフッ化物ガスの反応特性に関する研究
Title Transcription
CVD ソウチ クリーニング エ ノ オウヨウ オ モクテキ ト シタ フッカブツ ガス ノ ハンノウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
毛利勇 [著]
Author Heading
毛利, 勇 モウリ, イサム
Degree Grantor
鳥取大学
Date Granted
平成10年3月20日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
甲第150号
Degree Type
博士 (農学)