Study on the physical properties of semiconductor by spectroscopic ellipsometry

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on the physical properties of semiconductor by spectroscopic ellipsometry
• 著者・編者: 兪国林 [著]
• 著者標目: 兪, 国林 ユ, コクリン
• 並列タイトル等: 分光エリプソメトリーによる半導体物性の研究 ブンコウ エリプソメトリー ニ ヨル ハンドウタイ ブッセイ ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋工業大学
• 授与年月日: 平成10年9月2日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 乙第136号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-Z201
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000330285; http://id.ndl.go.jp/bib/000000330285
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1 Introduction

1.1 Background

1.2 Organization of dissertation

Reference