シリコン表面における塩素およびフッ素の反応に関する研究
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p1
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景と目的
p1
1.2 シリコン表面の反応に関する従来の研究と本研究の目的
p6
1.3 論文の構成
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ヒョウメン ニ オケル エンソ オヨビ フッソ ノ ハンノウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 唐橋一浩 [著]
- 著者標目
- 唐橋, 一浩 カラハシ, カズヒロ
- 授与機関名
- 筑波大学
- 授与年月日
- 平成8年7月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第1211号
- 学位
- 博士(工学)