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博士論文

シリコン表面における塩素およびフッ素の反応に関する研究

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シリコン表面における塩素およびフッ素の反応に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-99-E524
Bibliographic ID of National Diet Library
000000333588
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3148396
Material type
博士論文
Author
唐橋一浩 [著]
Publisher
-
Date granted
平成8年7月25日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
筑波大学,博士(工学)
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Note (General):

博士論文

Table of Contents

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  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景と目的

    p1

  • 1.2 シリコン表面の反応に関する従来の研究と本研究の目的

    p6

  • 1.3 論文の構成

    p10

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
シリコン ヒョウメン ニ オケル エンソ オヨビ フッソ ノ ハンノウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
唐橋一浩 [著]
Author Heading
唐橋, 一浩 カラハシ, カズヒロ
Degree Grantor
筑波大学
Date Granted
平成8年7月25日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
乙第1211号
Degree Type
博士(工学)