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目次
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p1
第1章 TXRF法における標準試料の重要性と現状
p1
1-1.半導体分析分野における金属汚染の問題
p1
1-2. TXRF法の原理,位置づけと問題点
p3
1-3. TXRF用標準試料に求められる特性
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ゼンハンシャ ケイコウ Xセン ブンセキ ニ モチイラレル ヒョウジュン シリョウ ノ サクセイ ト ソノ コウセイド ブンセキ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 森良弘 [著]
- 著者標目
- 森, 良弘 モリ, ヨシヒロ
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1999
- 報告番号
- 乙第6852号
- 学位
- 博士(工学)