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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p3
1.1 酸化膜ドライエッチング技術の現状と課題
p3
1.2 中性ラジカル診断技術の現状
p7
1.3 ヘリコン波放電プラズマにおけるLIF測定の意義
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- レーザー ユウキ ケイコウホウ ニ ヨル コウミツド フロロカーボン プラズマチュウ ノ チュウセイ ラジカル ソクテイ
- 著者・編者
- 鈴木千尋 [著]
- 著者標目
- 鈴木, 千尋 スズキ, チヒロ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1999
- 報告番号
- 甲第4283号
- 学位
- 博士(工学)