レーザー誘起蛍光法による高密度フロロカーボンプラズマ中の中性ラジカル測定

• Material Type: 博士論文
• Title: レーザー誘起蛍光法による高密度フロロカーボンプラズマ中の中性ラジカル測定
• Title Transcription: レーザー ユウキ ケイコウホウ ニ ヨル コウミツド フロロカーボン プラズマチュウ ノ チュウセイ ラジカル ソクテイ
• Author/Editor: 鈴木千尋 [著]
• Author Heading: 鈴木, 千尋 スズキ, チヒロ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成11年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 甲第4283号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-L463
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000337300; http://id.ndl.go.jp/bib/000000337300
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 酸化膜ドライエッチング技術の現状と課題

1.2 中性ラジカル診断技術の現状

1.3 ヘリコン波放電プラズマにおけるLIF測定の意義