博士論文

多層薄膜試料のオージェ深さ方向分析の研究

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多層薄膜試料のオージェ深さ方向分析の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-99-M46
国立国会図書館書誌ID
000000337496
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3152304
資料種別
博士論文
著者
荻原俊也 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,博士(工学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 第2章 Ni/Cr多層膜の深さ方向分析

    p5

  • 2.1 はじめに

    p5

  • 2.2 実験

    p6

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
タソウ ハクマク シリョウ ノ オージェフカサ ホウコウ ブンセキ ノ ケンキュウ
著者・編者
荻原俊也 [著]
著者標目
荻原, 俊也 オギワラ, トシヤ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成11年3月16日
授与年月日(W3CDTF)
1999
報告番号
乙第141号
学位
博士(工学)