多層薄膜試料のオージェ深さ方向分析の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 多層薄膜試料のオージェ深さ方向分析の研究
• タイトルよみ: タソウ ハクマク シリョウ ノ オージェフカサ ホウコウ ブンセキ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 荻原俊也 [著]
• 著者標目: 荻原, 俊也 オギワラ, トシヤ
• 授与機関名: 名古屋工業大学
• 授与年月日: 平成11年3月16日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1999
• 報告番号: 乙第141号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-99-M46
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000337496; http://id.ndl.go.jp/bib/000000337496
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

第2章 Ni/Cr多層膜の深さ方向分析

2.1 はじめに

2.2 実験