多層薄膜試料のオージェ深さ方向分析の研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
第2章 Ni/Cr多層膜の深さ方向分析
p5
2.1 はじめに
p5
2.2 実験
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- タソウ ハクマク シリョウ ノ オージェフカサ ホウコウ ブンセキ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 荻原俊也 [著]
- Author Heading
- 荻原, 俊也 オギワラ, トシヤ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成11年3月16日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 乙第141号
- Degree Type
- 博士(工学)