有機金属気相成長法によるHEMT集積回路用結晶成長技術の開発
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 高電子移動度電界効果トランジスタ(HEMT)用選択ドープ構造
p1
1.2 HEMT LSI用結晶成長技術の課題
p3
1.3 本研究の目的と構成
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル HEMT シュウセキ カイロヨウ ケッショウ セイチョウ ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 大堀達也 [著]
- 著者標目
- 大堀, 達也 オオホリ, タツヤ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成10年1月29日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 乙第13669号
- 学位
- 博士 (工学)