有機金属気相成長法によるHEMT集積回路用結晶成長技術の開発
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 高電子移動度電界効果トランジスタ(HEMT)用選択ドープ構造
p1
1.2 HEMT LSI用結晶成長技術の課題
p3
1.3 本研究の目的と構成
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル HEMT シュウセキ カイロヨウ ケッショウ セイチョウ ギジュツ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 大堀達也 [著]
- Author Heading
- 大堀, 達也 オオホリ, タツヤ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成10年1月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 乙第13669号
- Degree Type
- 博士 (工学)