シリコン単結晶連続引上法におけるドーパントおよび酸素の濃度制御法開発に関する研究
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第1章 序章
p1
1-1 序
p1
1-2 従来のチョクラルスキー法の問題点
p1
1-3 開発の目標について
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン タンケッショウ レンゾク ヒキアゲホウ ニ オケル ドーパント オヨビ サンソ ノ ノウド セイギョホウ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 小野直樹 [著]
- 著者標目
- 小野, 直樹 オノ, ナオキ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成10年2月12日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 乙第13690号
- 学位
- 博士 (工学)