電子分光法を用いた半導体表面解析の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 電子分光法を用いた半導体表面解析の研究
• タイトルよみ: デンシ ブンコウホウ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメン カイセキ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 矢野史子 [著]
• 著者標目: 矢野, 史子 ヤノ, フミコ
• 数量: 冊
• 授与機関名: 筑波大学
• 授与年月日: 平成10年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1998
• 報告番号: 乙第1401号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-99-V784
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000344226; http://id.ndl.go.jp/bib/000000344226
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 半導体開発のトレンドと評価技術への課題

1.2 電子分光法による表面分析と半導体評価の現状

1.3 本論文の目的と内容