電子分光法を用いた半導体表面解析の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 電子分光法を用いた半導体表面解析の研究
• Title Transcription: デンシ ブンコウホウ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメン カイセキ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 矢野史子 [著]
• Author Heading: 矢野, 史子 ヤノ, フミコ
• Extent: 冊
• Degree grantor/type: 筑波大学
• Date Granted: 平成10年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 乙第1401号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-V784
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000344226; http://id.ndl.go.jp/bib/000000344226
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 半導体開発のトレンドと評価技術への課題

1.2 電子分光法による表面分析と半導体評価の現状

1.3 本論文の目的と内容