イオンビーム支援蒸着法による硬質窒化物薄膜の形成とその機械的性質
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第1章 序論
p1
1.1 従来の窒化物薄膜の研究とその問題点
p1
1.2 表面改質技術の概観とイオンビーム支援蒸着法の特徴
p4
1.3 研究の意義および目的
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオン ビーム シエン ジョウチャクホウ ニ ヨル コウシツ チッカブツ ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ キカイテキ セイシツ
- 著者・編者
- 林敏行 [著]
- 著者標目
- 林, 敏行 ハヤシ, トシユキ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成11年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第4422号