イオンビーム支援蒸着法による硬質窒化物薄膜の形成とその機械的性質

• Material Type: 博士論文
• Title: イオンビーム支援蒸着法による硬質窒化物薄膜の形成とその機械的性質
• Title Transcription: イオン ビーム シエン ジョウチャクホウ ニ ヨル コウシツ チッカブツ ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ キカイテキ セイシツ
• Author/Editor: 林敏行 [著]
• Author Heading: 林, 敏行 ハヤシ, トシユキ
• Extent: 冊
• Degree Grantor: 名古屋大学
• Date Granted: 平成11年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 甲第4422号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-W394
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000344639; http://id.ndl.go.jp/bib/000000344639
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 従来の窒化物薄膜の研究とその問題点

1.2 表面改質技術の概観とイオンビーム支援蒸着法の特徴

1.3 研究の意義および目的