Atomistic etching mechanisms and surface structure of silicon in aqueous solutions
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目次
Contents
Chapter 1
p1
General Introduction
p1
Chapter 2
p17
Dissolution process of Si in aqueous fluoride-containing solutions
p17
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 吹留博一 [著]
- 著者標目
- 吹留, 博一 フキドメ, ヒロカズ
- 並列タイトル等
- 種々の水溶液中におけるシリコンの原子レベルでのエッチング機構と表面構造 シュジュ ノ スイヨウエキチュウ ニ オケル シリコン ノ ゲンシ レベル デ ノ エッチング キコウ ト ヒョウメン コウゾウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成12年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2000
- 報告番号
- 甲第7540号
- 学位
- 博士 (工学)