ULSIにおける極微細トレンチ分離とMOSFETに関する研究
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目次
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第1章 序論
p1
1-1 本研究の背景
p1
1-2 本研究の目的と論文構成
p7
参考文献
p9
第2章 トレンチ分離の埋め込みと分離特性
p12
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ULSI ニ オケル ゴクビサイ トレンチ ブンリ ト MOSFET ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 大石敏之 [著]
- 著者標目
- 大石, 敏之 オオイシ, トシユキ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成12年6月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2000
- 報告番号
- 乙第5770号
- 学位
- 博士 (工学)