ULSIにおける極微細トレンチ分離とMOSFETに関する研究
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Table of Contents
第1章 序論
p1
1-1 本研究の背景
p1
1-2 本研究の目的と論文構成
p7
参考文献
p9
第2章 トレンチ分離の埋め込みと分離特性
p12
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ULSI ニ オケル ゴクビサイ トレンチ ブンリ ト MOSFET ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 大石敏之 [著]
- Author Heading
- 大石, 敏之 オオイシ, トシユキ
- Degree grantor/type
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成12年6月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 2000
- Dissertation Number
- 乙第5770号
- Degree Type
- 博士 (工学)