Influences of Plasma-Induced Damage on Material Properties in Semiconductor Devices

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Influences of Plasma-Induced Damage on Material Properties in Semiconductor Devices
• 著者・編者: Takao Yamaguchi [著]
• 著者標目: 山口, 峰生 ヤマグチ, タカオ
• 出版事項: [Takao Yamaguchi]
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 半導体デバイスにおけるプラズマ誘起損傷が材料物性に与える影響 ハンドウタイ デバイス ニ オケル プラズマ ユウキ ソンショウ ガ ザイリョウ ブッセイ ニ アタエル エイキョウ
• 授与機関名: 大阪府立大学
• 授与年月日: 平成12年7月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 甲第633号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2000-P607
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000390151; http://id.ndl.go.jp/bib/000000390151
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1 General introduction

2 Depth distribution of plasma induced damage

2.1 Introduction

2.2 Experimental