Influences of Plasma-Induced Damage on Material Properties in Semiconductor Devices

• Material Type: 博士論文
• Title: Influences of Plasma-Induced Damage on Material Properties in Semiconductor Devices
• Author/Editor: Takao Yamaguchi [著]
• Author Heading: 山口, 峰生 ヤマグチ, タカオ
• Publication, Distribution, etc.: [Takao Yamaguchi]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 半導体デバイスにおけるプラズマ誘起損傷が材料物性に与える影響 ハンドウタイ デバイス ニ オケル プラズマ ユウキ ソンショウ ガ ザイリョウ ブッセイ ニ アタエル エイキョウ
• Degree grantor/type: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成12年7月31日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第633号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-P607
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000390151; http://id.ndl.go.jp/bib/000000390151
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1 General introduction

2 Depth distribution of plasma induced damage

2.1 Introduction

2.2 Experimental