4a族金属系材料の適用による銅配線技術の熱的安定性向上のための基礎的研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 4a族金属系材料の適用による銅配線技術の熱的安定性向上のための基礎的研究
• タイトルよみ: 4aゾク キンゾクケイ ザイリョウ ノ テキヨウ ニ ヨル ドウ ハイセン ギジュツ ノ ネツテキ アンテイセイ コウジョウ ノ タメ ノ キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 吉本健一 [著]
• 著者標目: 吉本, 健一 ヨシモト, ケンイチ
• 出版事項: [吉本健一]
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 北見工業大学
• 授与年月日: 平成12年9月20日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 乙第2号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2000-P437
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000390811; http://id.ndl.go.jp/bib/000000390811
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 Si-LSIのメタライゼーション技術の現状と問題点

1.3 本研究の目的と本論文の構成