4a族金属系材料の適用による銅配線技術の熱的安定性向上のための基礎的研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 4a族金属系材料の適用による銅配線技術の熱的安定性向上のための基礎的研究
• Title Transcription: 4aゾク キンゾクケイ ザイリョウ ノ テキヨウ ニ ヨル ドウ ハイセン ギジュツ ノ ネツテキ アンテイセイ コウジョウ ノ タメ ノ キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 吉本健一 [著]
• Author Heading: 吉本, 健一 ヨシモト, ケンイチ
• Publication, Distribution, etc.: [吉本健一]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree Grantor: 北見工業大学
• Date Granted: 平成12年9月20日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第2号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-P437
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000390811; http://id.ndl.go.jp/bib/000000390811
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 Si-LSIのメタライゼーション技術の現状と問題点

1.3 本研究の目的と本論文の構成