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博士論文

Defect Formation in Transparent Materials for vacuum-uv Optics by Energetic Photon or Ion Beams

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Defect Formation in Transparent Materials for vacuum-uv Optics by Energetic Photon or Ion Beams

国立国会図書館請求記号
UT51-2000-R351
国立国会図書館書誌ID
000000393098
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3177011
資料種別
博士論文
著者
水口雅史 [著]
出版者
[水口雅史]
授与年月日
平成12年3月26日
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
1冊
授与機関名・学位
東京工業大学,博士 (工学)
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目次

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  • 論文目録

  • CONTENTS

  • 1 General Introduction

    p1

  • 1.1 Road Map of Photolithography

    p1

  • 1.2 Color Centers in CaF₂ Single Crystals

    p2

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
水口雅史 [著]
著者標目
水口, 雅史 ミズグチ, マサフミ
出版事項
出版年月日等
[2000]
出版年(W3CDTF)
2000
数量
1冊
並列タイトル等
高エネルギーフォトンまたはイオンビーム照射による真空紫外用光学材料中の欠陥生成 コウエネルギー フォトン マタワ イオン ビーム ショウシャ ニ ヨル シンクウ シガイヨウ コウガク ザイリョウ チュウ ノ ケッカン セイセイ
授与機関名
東京工業大学