Defect Formation in Transparent Materials for vacuum-uv Optics by Energetic Photon or Ion Beams
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目次
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論文目録
CONTENTS
1 General Introduction
p1
1.1 Road Map of Photolithography
p1
1.2 Color Centers in CaF₂ Single Crystals
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 水口雅史 [著]
- 著者標目
- 水口, 雅史 ミズグチ, マサフミ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2000]
- 出版年(W3CDTF)
- 2000
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 高エネルギーフォトンまたはイオンビーム照射による真空紫外用光学材料中の欠陥生成 コウエネルギー フォトン マタワ イオン ビーム ショウシャ ニ ヨル シンクウ シガイヨウ コウガク ザイリョウ チュウ ノ ケッカン セイセイ
- 授与機関名
- 東京工業大学