Defect Formation in Transparent Materials for vacuum-uv Optics by Energetic Photon or Ion Beams
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論文目録
CONTENTS
1 General Introduction
p1
1.1 Road Map of Photolithography
p1
1.2 Color Centers in CaF₂ Single Crystals
p2
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Author/Editor
- 水口雅史 [著]
- Author Heading
- 水口, 雅史 ミズグチ, マサフミ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2000]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Alternative Title
- 高エネルギーフォトンまたはイオンビーム照射による真空紫外用光学材料中の欠陥生成 コウエネルギー フォトン マタワ イオン ビーム ショウシャ ニ ヨル シンクウ シガイヨウ コウガク ザイリョウ チュウ ノ ケッカン セイセイ
- Degree Grantor
- 東京工業大学