単結晶シリコンの超精密切削に関する研究
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目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 超精密切削
p1
1.2 単結晶シリコンの機械的特性と加工法
p5
1.3 延性モード切削
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- タンケッショウ シリコン ノ チョウセイミツ セッサク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 閻紀旺 [著]
- 著者標目
- 閻, 紀旺 ヤン, キオウ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2000]
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東北大学