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博士論文

単結晶シリコンの超精密切削に関する研究

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NDL Digital Collections

単結晶シリコンの超精密切削に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-S569
Bibliographic ID of National Diet Library
000000394282
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3177862
Material type
博士論文
Author
閻紀旺 [著]
Publisher
[閻紀旺]
Date granted
平成12年3月23日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
1冊
Degree grantor and degree
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 超精密切削

    p1

  • 1.2 単結晶シリコンの機械的特性と加工法

    p5

  • 1.3 延性モード切削

    p8

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
単結晶シリコンの超精密切削に関する研究
Title Transcription
タンケッショウ シリコン ノ チョウセイミツ セッサク ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
閻紀旺 [著]
Author Heading
閻, 紀旺 ヤン, キオウ
Publication, Distribution, etc.
[閻紀旺]
Publication Date
[2000]
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
1冊
Degree Grantor
東北大学