Study on the Direct Current and Radio Frequency Magnetron Plasmas by the Particle-in-Cell/Monte Carlo Method

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on the Direct Current and Radio Frequency Magnetron Plasmas by the Particle-in-Cell/Monte Carlo Method
• 著者・編者: 近藤修司 [著]
• 著者標目: 近藤, 修司 コンドウ, シュウジ
• 出版事項: [近藤修司]
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 直流および高周波マグネトロンプラズマのPIC/MC法による研究 チョクリュウ オヨビ コウシュウハ マグネトロン プラズマ ノ PIC
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成12年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 甲第7374号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2000-S579
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000394304; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394304
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

Symbols and Abbreviations

1 Introduction

References

2 Analysis of Electron Swarm in Argon by the Test Particle Monte Carlo Method