Study on the Direct Current and Radio Frequency Magnetron Plasmas by the Particle-in-Cell/Monte Carlo Method

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on the Direct Current and Radio Frequency Magnetron Plasmas by the Particle-in-Cell/Monte Carlo Method
• Author/Editor: 近藤修司 [著]
• Author Heading: 近藤, 修司 コンドウ, シュウジ
• Publication, Distribution, etc.: [近藤修司]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 直流および高周波マグネトロンプラズマのPIC/MC法による研究 チョクリュウ オヨビ コウシュウハ マグネトロン プラズマ ノ PIC
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成12年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 甲第7374号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-S579
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000394304; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394304
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Symbols and Abbreviations

1 Introduction

References

2 Analysis of Electron Swarm in Argon by the Test Particle Monte Carlo Method