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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
1-1 固体の表面イオン照射効果
p2
1-2 従来の表面微細加工法
p23
1-3 希ガスイオン照射による表面微細加工の可能性
p25
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- キガス イオン ショウシャ オ モチイタ セラミックス ザイリョウ ノ ヒョウメン ビサイ カコウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 大塚智史 [著]
- 著者標目
- 大塚, 智史 オオツカ, サトシ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2000]
- 出版年(W3CDTF)
- 2000
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東北大学