希ガスイオン照射を用いたセラミックス材料の表面微細加工に関する基礎的研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1 固体の表面イオン照射効果
p2
1-2 従来の表面微細加工法
p23
1-3 希ガスイオン照射による表面微細加工の可能性
p25
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- キガス イオン ショウシャ オ モチイタ セラミックス ザイリョウ ノ ヒョウメン ビサイ カコウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 大塚智史 [著]
- Author Heading
- 大塚, 智史 オオツカ, サトシ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2000]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東北大学