博士論文

希ガスイオン照射を用いたセラミックス材料の表面微細加工に関する基礎的研究

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希ガスイオン照射を用いたセラミックス材料の表面微細加工に関する基礎的研究

Call No. (NDL)
UT51-2000-S587
Bibliographic ID of National Diet Library
000000394319
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3177896
Material type
博士論文
Author
大塚智史 [著]
Publisher
[大塚智史]
Publication date
[2000]
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 固体の表面イオン照射効果

    p2

  • 1-2 従来の表面微細加工法

    p23

  • 1-3 希ガスイオン照射による表面微細加工の可能性

    p25

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
キガス イオン ショウシャ オ モチイタ セラミックス ザイリョウ ノ ヒョウメン ビサイ カコウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
Author/Editor
大塚智史 [著]
Author Heading
大塚, 智史 オオツカ, サトシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2000]
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学