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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1 固体の表面イオン照射効果
p2
1-2 従来の表面微細加工法
p23
1-3 希ガスイオン照射による表面微細加工の可能性
p25
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- キガス イオン ショウシャ オ モチイタ セラミックス ザイリョウ ノ ヒョウメン ビサイ カコウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 大塚智史 [著]
- Author Heading
- 大塚, 智史 オオツカ, サトシ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2000]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東北大学