ボロン添加シリコン融液中の酸素挙動に関する研究
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目次
-目次-
p1
第1章 序論
p1
1.1 ボロン添加シリコン融液中における酸素挙動の重要性
p1
1.2 シリコン､酸素､ボロンの状態図
p24
1.3 従来の研究
p28
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ボロン テンカ シリコン ユウエキ チュウ ノ サンソ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 安部啓成 [著]
- 著者標目
- 安部, 啓成 アベ, ケイセイ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2000
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 湘南工科大学