ボロン添加シリコン融液中の酸素挙動に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: ボロン添加シリコン融液中の酸素挙動に関する研究
• Title Transcription: ボロン テンカ シリコン ユウエキ チュウ ノ サンソ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 安部啓成 [著]
• Author Heading: 安部, 啓成 アベ, ケイセイ
• Publication, Distribution, etc.: [安部啓成]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 湘南工科大学
• Date Granted: 平成12年9月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第1号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-T273
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000394729; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394729
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

-目次-

第1章 序論

1.1 ボロン添加シリコン融液中における酸素挙動の重要性

1.2 シリコン､酸素､ボロンの状態図

1.3 従来の研究