不純物(ボロン及びアンチモン)添加シリコン結晶の酸素濃度均一性に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 シリコン融液の蒸発に関する従来の研究例
p16
1.3 本研究の意義と目的
p22
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- フジュンブツ ( ボロン オヨビ アンチモン ) テンカ シリコン ケッショウ ノ サンソ ノウド キンイツセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 前田進 [著]
- 著者標目
- 前田, 進 マエダ, ススム
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2000
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 湘南工科大学