不純物(ボロン及びアンチモン)添加シリコン結晶の酸素濃度均一性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 不純物(ボロン及びアンチモン)添加シリコン結晶の酸素濃度均一性に関する研究
• Title Transcription: フジュンブツ ( ボロン オヨビ アンチモン ) テンカ シリコン ケッショウ ノ サンソ ノウド キンイツセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 前田進 [著]
• Author Heading: 前田, 進 マエダ, ススム
• Publication, Distribution, etc.: [前田進]
• Publication Date: 2000
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 湘南工科大学
• Date Granted: 平成12年9月28日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第3号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-T275
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000394734; http://id.ndl.go.jp/bib/000000394734
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 本研究の背景

1.2 シリコン融液の蒸発に関する従来の研究例

1.3 本研究の意義と目的