不純物(ボロン及びアンチモン)添加シリコン結晶の酸素濃度均一性に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 シリコン融液の蒸発に関する従来の研究例
p16
1.3 本研究の意義と目的
p22
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- フジュンブツ ( ボロン オヨビ アンチモン ) テンカ シリコン ケッショウ ノ サンソ ノウド キンイツセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 前田進 [著]
- Author Heading
- 前田, 進 マエダ, ススム
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 湘南工科大学