マイクロマシン作製プロセスに関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: マイクロマシン作製プロセスに関する研究
• タイトルよみ: マイクロマシン サクセイ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 松永崇 [著]
• 著者標目: 松永, 崇 マツナガ, タカシ
• 出版事項: [松永崇]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 大阪府立大学
• 授与年月日: 平成13年3月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 甲第672号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-B534
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000396091; http://id.ndl.go.jp/bib/000000396091
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 緒言

参考文献

第2章 マイクロシステムの物理

2.1 スケール効果