容量性結合RF放電プラズマ中における荷電粒子の非一様性に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 放電プラズマの利用とプラズマエレクトロニクス
p1
1.2 本研究に関連した従来の研究
p3
1.3 本研究の目的と構成
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヨウリョウセイ ケツゴウ RF ホウデン プラズマ チュウ ニ オケル カデン リュウシ ノ ヒ イチヨウセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 加賀広持 [著]
- 著者標目
- 加賀, 広持 カガ, コウジ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2001
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 名古屋工業大学