容量性結合RF放電プラズマ中における荷電粒子の非一様性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 容量性結合RF放電プラズマ中における荷電粒子の非一様性に関する研究
• Title Transcription: ヨウリョウセイ ケツゴウ RF ホウデン プラズマ チュウ ニ オケル カデン リュウシ ノ ヒ イチヨウセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 加賀広持 [著]
• Author Heading: 加賀, 広持 カガ, コウジ
• Publication, Distribution, etc.: [加賀広持]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 名古屋工業大学
• Date Granted: 平成13年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第331号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-C222
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000397567; http://id.ndl.go.jp/bib/000000397567
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 放電プラズマの利用とプラズマエレクトロニクス

1.2 本研究に関連した従来の研究

1.3 本研究の目的と構成