Formation of Fine Patterned Structures on Silicon Wafer by Means of Electrochemical Methods

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Formation of Fine Patterned Structures on Silicon Wafer by Means of Electrochemical Methods
• 著者・編者: 高野奈央 [著]
• 著者標目: 高野, 奈央 タカノ, ナオ
• 出版事項: [高野奈央]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 電気化学的手法によるシリコンウェハ上への微細構造体の作製 デンキ カガクテキ シュホウ ニ ヨル シリコン ウェハ ジョウ エノ ビサイ コウゾウタイ ノ サクセイ
• 授与機関名: 早稲田大学
• 授与年月日: 平成13年3月15日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 甲第1502号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-E40
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000399539; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399539
• 整理区分コード: 213

目次

CONTENTS:

Preface

Chapter 1:General Introduction

1.1 Metal Deposition on Silicon Wafers

1.2 Organic Monolayers