Formation of Fine Patterned Structures on Silicon Wafer by Means of Electrochemical Methods

• Material Type: 博士論文
• Title: Formation of Fine Patterned Structures on Silicon Wafer by Means of Electrochemical Methods
• Author/Editor: 高野奈央 [著]
• Author Heading: 高野, 奈央 タカノ, ナオ
• Publication, Distribution, etc.: [高野奈央]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 電気化学的手法によるシリコンウェハ上への微細構造体の作製 デンキ カガクテキ シュホウ ニ ヨル シリコン ウェハ ジョウ エノ ビサイ コウゾウタイ ノ サクセイ
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成13年3月15日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第1502号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-E40
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000399539; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399539
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS:

Preface

Chapter 1:General Introduction

1.1 Metal Deposition on Silicon Wafers

1.2 Organic Monolayers