マグネトロンスパッタリング法による低放射膜と熱線反射膜の耐久性改良に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: マグネトロンスパッタリング法による低放射膜と熱線反射膜の耐久性改良に関する研究
• タイトルよみ: マグネトロン スパッタリングホウ ニ ヨル テイホウシャマク ト ネッセン ハンシャマク ノ タイキュウセイ カイリョウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 安藤英一 [著]
• 著者標目: 安藤, 英一 アンドウ, エイイチ
• 出版事項: [安藤英一]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: A study on the durability improvement of low-emissivity coatings and solar control coatings deposited by magnetron sputtering
• 授与機関名: 早稲田大学
• 授与年月日: 平成13年3月8日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 乙第1592号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-E156
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000399812; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399812
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

参考文献

第2章 スパッタリング技術

2.1 はじめに