マグネトロンスパッタリング法による低放射膜と熱線反射膜の耐久性改良に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: マグネトロンスパッタリング法による低放射膜と熱線反射膜の耐久性改良に関する研究
• Title Transcription: マグネトロン スパッタリングホウ ニ ヨル テイホウシャマク ト ネッセン ハンシャマク ノ タイキュウセイ カイリョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 安藤英一 [著]
• Author Heading: 安藤, 英一 アンドウ, エイイチ
• Publication, Distribution, etc.: [安藤英一]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: A study on the durability improvement of low-emissivity coatings and solar control coatings deposited by magnetron sputtering
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成13年3月8日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 乙第1592号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-E156
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000399812; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399812
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

参考文献

第2章 スパッタリング技術

2.1 はじめに